第87章 光刻机-这件事，太疯了

她拿起手机，翻到张明远教授的号码，发了一条消息。“老师，赵瑞龙在提篮桥的师傅是谁？我要知道他都学了什么。”

张明远的回复很快。“之前那个人姓沈，后来坐牢出来以后就改姓卢了，中科院系统出来的，搞了半辈子光学。有点金融问题进去的，他也懂金融知识，当时你找我比较急，我就安排他教赵瑞龙了，听老卢说赵瑞龙在里面学了八个月，学得很认真。”

苏晚晴看着这行字，沉默了很久。

“谢谢您，张大教授。”苏晚晴无奈的摇摇头。

光学。退休教授。中科院系统。

这串信息连在一起，忽然不那么荒诞了。

她放下手机，重新坐回办公桌前，翻开那本项目书，在空白处写下几个字——“先听专家怎么说。”

窗外，天色渐渐暗了下来。苏晚晴批完最后一份文件，站起来，关了灯，走出办公室。走廊里很安静，她的脚步声在空旷的走廊里回响。

下周的研讨会，她要在场。她要亲耳听听那些真正懂行的人怎么说。如果专家们说“这是天方夜谭”，她就让赵瑞龙死了这条心。如果专家们说“理论上可行，但需要十年二十年”——她再考虑下一步。

她走进电梯，按了一楼。电梯门关上的那一刻，她忽然想起赵瑞龙说那句话时的眼神。那种眼神，她在国外的时候见过。在那些赌上一切去做一件不可能的事情的人眼里见过。

有些人疯了一辈子，最后疯成了传奇。有些人疯了一辈子，最后疯成了笑话。

赵瑞龙会是哪一种？她不知道。但她会帮他把答案找出来。

省政府西楼会议室，上午九点。

会议室不大，但今天坐得很满。长桌两侧是来自全国各地的专家学者，桌上摆着铭牌——中科院上海光机所、长春光机所、清华大学、哈尔滨工业大学、工信部电子司……每个人的表情都写着同一个问题：一个房地产商，为什么要造光刻机？

苏晚晴坐在主位，面前摊着赵瑞龙那本厚厚的项目书。她看了一眼小张，小张会意，关上了会议室的门。

“各位老师，”苏晚晴开口，声音不大但很清楚，“今天请大家来，是想请你们帮我判断一件事。”她顿了顿，把那本项目书推到桌子中间，“有个项目方提出，要在汉东建设极紫外光刻机研发生产基地。我不懂技术，所以想听听你们的专业意见。”

会议室里安静了两秒，然后是一阵低低的骚动。

坐在苏晚晴正对面的，是中科院上海光机所的林楠研究员。他五十出头，头发花白，是国内极紫外光源领域的权威。他拿起项目书翻了翻，眉头皱得越来越紧。然后他抬起头，看了苏晚晴一眼，又看了看在座的同行，笑了。不是嘲笑，是一种“我不知道该从哪说起”的笑。

“苏省长，我先说两句吧。”林楠把项目书放下，清了清嗓子，“极紫外光刻机，也就是EUV，被称作人类精密制造能力的巅峰。这个说法不是夸张，是事实。它的技术指标，己经到了物理定律允许的极限边缘。”

苏晚晴靠在椅背上，安静地听着。

林楠站起来，走到会议室前面的白板前，拿起记号笔。他先画了一个圆，又画了几条线，然后转身面对大家。

“我们先说光源。EUV用的光是13.5纳米的极紫外光，这个波长不存在于自然界。它是用高功率二氧化碳激光，每秒五万次轰击液态锡滴，把锡滴加热到几十万摄氏度，产生等离子体，才能发出这种光。”他的声音不急不慢，但每个字都很重，“每秒五万次，一次偏差都不允许。锡滴的大小只有二十到三十微米，比头发丝还细。激光打上去的时候，偏差不能超过零点几微米。”

他看了苏晚晴一眼，苏晚晴的表情没有任何变化。

林楠在白板上写下一串数字，然后转过身，目光扫过在座的每一个人。

“13.5纳米的波长，对应的光子能量是91.6电子伏特。这意味着什么？意味着这种光在空气中走不到几毫米就会被吸收。所以EUV光刻机的整个光路系统，必须放在真空环境里。真空度要达到10的负7次方帕斯卡量级。什么概念？比太空还空。”

他放下笔，回到座位上，端起茶杯喝了一口。会议室里安静得能听到空调的嗡嗡声。

坐在林楠旁边的，是长春光机所的陈立华院士。七十多岁，头发全白了，但精神矍铄。他是国内光学系统设计领域泰斗级的人物，一辈子跟镜子打交道。陈立华推了推眼镜，慢悠悠地开口了。